国产精品福利在线观看播放_日韩美女一级毛片在线免费_美女黄色在线观看_中文字字幕9页中文乱码在线_日韩亚洲国产高清在线_国产美女喷水视频_老熟妇毛茸茸bbw视频_oldman日本老头老太tv_亚洲午夜成人影院_亚洲国产欧美激情在线播放

9月25-27日，第十二屆半導體設(shè)備年會（CSEAC 2024）在無錫太湖國際博覽中心盛大召開。

作為先導集團在半導體高端前道設(shè)備領(lǐng)域的關(guān)鍵布局、先導集成電路裝備與零部件材料產(chǎn)業(yè)園的核心企業(yè)，天芯微攜旗下Compass HP 平臺12寸硅基減壓、常壓外延解決方案以及最新的深硅刻蝕方案亮相本次大會，受到產(chǎn)業(yè)鏈上下游廣泛關(guān)注。同時，先導集團董事長王燕清也受邀出席大會，并發(fā)表主題演講。

隨著集成電路制造向更小特征線寬尺寸發(fā)展，以先進邏輯芯片和存儲器件為代表的產(chǎn)品對制造工藝要求也不斷提升，各種新的外延工藝應(yīng)用場景層出不窮，對外延系統(tǒng)的功能提出了更高的要求。

基于Compass HP平臺，天芯微在國內(nèi)率先推出了完全國產(chǎn)自主化的12寸硅基減壓外延設(shè)備Epi RP 300 Compass HP以及硅基常壓外延設(shè)備Epi ATM 300 Compass HP，滿足晶圓廠對先進器件制造的需求。

Epi RP 300 Compass HP是先進制程外延工藝的創(chuàng)新解決方案，應(yīng)用于邏輯芯片、功率及存儲器件制造，適用于硅、硅鍺、硅磷等材料的外延生長。創(chuàng)新的Compass HP平臺可靈活配置多個外延腔，集成至多2個預清洗腔，滿足差異化的產(chǎn)能需求和工藝要求。

Epi ATM 300 Compass HP適用于大硅片、功率器件和MEMS等外延工藝需求，憑借天芯微自主研發(fā)的壓控FRC技術(shù)及獨立多區(qū)進氣模組，帶來了更高效的沉積速率和更可觀的膜厚及均一性。該設(shè)備同樣繼承了天芯微Compass HP平臺靈活的生產(chǎn)配置能力。

近年來，人工智能、高性能算力等快速發(fā)展，對上游器件要求不斷提升，2.5D&3D等先進封裝技術(shù)憑借其高集成度帶來卓越的性能和互聯(lián)互通，TSV（硅通孔）技術(shù)在其中起到關(guān)鍵作用。

針對產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢和市場不斷增加的需求，天芯微自主研發(fā)了旗下首款深硅刻蝕設(shè)備V8 Etch，可實現(xiàn)高深寬比的TSV（硅通孔）和溝槽刻蝕，可應(yīng)用于2.5D&3D封裝、CMOS圖像傳感器（CIS）、深溝槽隔離（DTI）、深溝槽電容（DTC）、功率器件硅溝槽刻蝕、MEMS 溝槽刻蝕等領(lǐng)域，為產(chǎn)業(yè)界提供了國產(chǎn)化創(chuàng)新解決方案。

V8 Etch 應(yīng)用了多種先進設(shè)計，如分區(qū)進氣系統(tǒng)、對稱腔體結(jié)構(gòu)、高功率等離子源、快速氣體切換系統(tǒng)、和準確離子能量控制等，為工藝提供了更多的可能性和可調(diào)性。

未來，天芯微將持續(xù)聚焦市場需求，強化技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，積極拓展半導體制造高端設(shè)備領(lǐng)域，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展升級注入活力，助力半導體國產(chǎn)裝備的自主化之路。

先導集團董事長王燕清：全球AI浪潮下，半導體國產(chǎn)裝備的自主之路

本次大會，先導集團董事長王燕清受邀發(fā)表了《全球AI浪潮下，半導體國產(chǎn)裝備的自主之路》演講，分享了先導在半導體裝備領(lǐng)域的戰(zhàn)略規(guī)劃和自主之路。

王燕清董事長表示，在全球AI浪潮如火如荼發(fā)展的當下，國產(chǎn)半導體裝備將迎來新的發(fā)展機遇。天芯微等先導集成電路裝備與零部件、材料產(chǎn)業(yè)園的園內(nèi)企業(yè)，在著力于提升國產(chǎn)設(shè)備質(zhì)量與性能的同時，將進一步發(fā)揮本土化響應(yīng)優(yōu)勢，提供定制化服務(wù)，縮短設(shè)備交付周期，助力國產(chǎn)設(shè)備實現(xiàn)從“能用”到“好用”的飛躍。不僅如此，先導集團在助力半導體裝備實現(xiàn)國產(chǎn)化替代的自主之路上，還將把握“聚焦技術(shù)引領(lǐng)、人才培養(yǎng)、和聚焦平臺”等“三個聚焦”，堅定落實“三個1”方針，為中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供強有力的支撐。