
天芯微成立于2019年8月,是一家半導(dǎo)體領(lǐng)域高端設(shè)備制造商及解決方案提供商。致力于半導(dǎo)體前道關(guān)鍵工藝設(shè)備的研發(fā)與制造,為集成電路行業(yè)提供極具競(jìng)爭(zhēng)力的高端設(shè)備和高品質(zhì)服務(wù)。核心團(tuán)隊(duì)來(lái)自行業(yè)知名半導(dǎo)體設(shè)備公司,擁有30年以上研發(fā)到市場(chǎng)的產(chǎn)品投放經(jīng)驗(yàn),曾主導(dǎo)多款前道工藝設(shè)備的研發(fā)和驗(yàn)證工作。
Epi RP 300 Compass HP減壓外延設(shè)備是我公司研發(fā)的擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的中前道外延設(shè)備,廣泛應(yīng)用于先進(jìn)邏輯芯片代工、存儲(chǔ)芯片、以及諸多功率器件的生產(chǎn)制造。該設(shè)備可以同時(shí)搭載六個(gè)工藝腔室,擁有智能化的傳片邏輯,極大地提高了產(chǎn)能。
Epi ATM 300 Compass HP常壓外延設(shè)備是我公司研發(fā)的擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的中前道外延設(shè)備,主要應(yīng)用于外延片、MEMS和功率器件,如IGBT的生產(chǎn)制造。該設(shè)備配備了自主研發(fā)的進(jìn)氣模塊,擁有極致的沉積速率。